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三路質子氣體配比器

發布時間:2017-11-16  瀏覽次數:3928

設備簡介:

NBD系列氣體混合配比器適用于低壓小流量、多種氣體的混合及連續供氣。氣體壓力和流量數據在控制面板上直觀可讀,操作簡便,流量控制精確,可有效地控制氣體消耗??梢愿苁綘t等設備配合使用,做CVD、氣氛燒結等研究實驗。






 

 

 

 

 

 


    配置詳情

 

1. 外形美觀,實用性強,操作簡便;

2. 采用耐腐拋光不銹鋼管,或耐腐聚四氟乙烯管;

3. 可靠的混氣裝置,可保證氣體混合的均勻性;

4. 均采用標準尺寸接頭,確保其通用性;

5. 多路氣體混合可咨詢溝通定制;

產品型號

NBD-2Z

NBD-3Z

NBD-4Z

流量計類型

質子流量控制器

管道示意圖

 

采用潔凈拋光的氣路專用耐腐不銹鋼管或耐腐蝕抗老化的聚四氟乙烯氣管(可選)

進氣接口數量

(多路可定制)

2

3

4

接口尺寸

1/4”雙卡套接頭

測量精度

±1.0%F.S

流量計測量范圍

50、100、200、500Sccm可選

范圍

0.05-0.4MPa

凈重

35KG

設備使用注意事項

1.確保管道內壓力<0.15MPa;

2.氣柜連接好氣瓶后要用肥皂水進行檢漏測試;

服務支持

1年質保,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件)。 


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