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布里奇曼晶體生長爐

發布時間:2021-08-18  瀏覽次數:529


設備簡介:

    適用于布里奇曼方法(坩堝下降法),在真空、保護氣氛或氧化氣氛下的晶體生長,可預存15組工藝曲線,工藝曲線包括溫度,氣體流量,晶體進給速度(長晶速率),任意切換;長晶結束,報警提示,生成實驗報告并導出(包含但不限于溫度,氣體流量,進給速率等)。





 

 

 

 

 

 


配置詳

 

項目

設備技術指標選擇

加熱系統

 

晶體生長環境選擇

氧化氣氛/保護氣氛/真空狀態

長晶溫區選擇

單溫區200mm /300mm/400mm

雙溫100+100/200+200mm /300+300mm

三溫:200+200+200mm

反應腔尺寸選選擇

Φ50/Φ60/Φ80/Φ100更多選擇聯系客服

主控最高工作溫度

1150/1650

控溫精度

300~1150±0.5

主控爐膛材料

高純多晶纖維復合耐火保溫層

主控爐膛模式

環形加熱整體密閉

密封方式

水冷不銹鋼密封法蘭

提拉系統


長晶模式選擇

坩堝下降法 /坩堝平移法

物料裝載模式

上吊裝下推進模式/下裝載模式

晶體運動方式選擇

坩堝只移動/ 坩堝移動并旋轉

結構

雙層滑軌結構,C7大力距滾珠絲杠,SPY鋁托光軸直線導軌

長晶進給系統

伺服進給高精度運行平穩,大扭矩諧波減速進給速度30μm/hr~30000μm/hr可調,物料下推進運動模式,無旋轉

裝料密封方式

電動密封法蘭

裝料密封電機

57CM23閉環步進電機,平穩高速

氣系統

 

流量計選擇

1/2/3路質子子流量計100sccm  200sccm  ,500sccm            

氣路管芯

專用不銹鋼氣體管道(1/4"

調節閥類型

手動調節閥

管道常態

常閉

測量精度

±1.0%F.S

線性度

±0.5%F.S

重復精度

±0.2%F.S

壓力范圍

-0.1-0.15 MPa

響應時間

2S

工作環境溫度

(1550)

精度保證溫度

(1535)

真空系統


真空類型選擇

NBD-4C真空泵/ NBD-1013A 分子泵系統

真空計類型

數字真空計/模擬真空計

系統真空

5pa  /2.8*10-3pa

操控系統


操控模式

NBD-101EP嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,10寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式;

長晶工藝設置

可預存15組工藝曲線,工藝曲線包括溫度,氣體流量,晶體進給速度(長晶速率),任意調用;長晶結束,報警提示,并生成實驗報告導出,()包含但不限于溫度,氣體流量,進給速率等)

溫度校正

主控控溫溫度和試樣溫度的差值,系統全程進行非線性修正(詢問客戶長晶溫度點,可做特別效驗)

實現功能

可適用于布里奇曼法在真空或氣氛或空氣狀態生長的各類晶體(坩堝下降法)

系統保護

超溫報警,過流保護,斷偶提示

隨機產品配置

反應腔1 ,鎳鉻鋁吊絲5米 ,說明書1;隨機工具等。

服務項目

運輸保險費,包裝費,安裝及技術服務費; 提供12個月質保,觸控系統24個月,終身保修




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